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科技部考察组到华海清科公司调研
 
 

  近日,国家科技部重大专项办公室副巡视员、02专项办公室副主任邱钢一行到华清清科公司调研。

  调研组参观了正在运行的抛光机,以及处于组装阶段的关键机台部件,听取了华海清科近期发展成果介绍并参观了华海清科展厅,进一步了解华海清科的发展历程、资质荣誉、专利成果等方面情况。随后召开了座谈会,就华海清科承担02专项的进展、产品研发、市场拓展、厂房规划建设、未来发展等方面情况进行了深入探讨交流。

  华海清科独立设计并研制了更为独特的CMP单元架构、更为精确稳定的压力分区控制技术、更为先进的终点检测及在线实时监测系统,有效提升CMP设备性能,提高国产CMP设备核心竞争力。

  中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、清华控股、清华控股华控基石基金等企业领导参与调研。津南区、咸水沽镇政府领导陪同调研。

 
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